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清洁度 |
大于下列目标粒径的颗粒的上限颗粒数浓度(颗粒/m3)
|
美国联邦标准
209E 清洁度
班级
(现已废止)
|
|||||
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
1微米
|
5μm
|
||
1
|
十
|
2
|
|
|
|
|
|
2
|
100
|
24
|
十
|
|
|
|
|
3
|
1,000
|
第237章
|
102
|
35
|
|
|
1 |
四
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
第352章
|
83
|
|
十
|
五
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
第832章
|
|
100
|
6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320 |
293
|
1,000 |
7
|
|
|
|
352,000 |
83,200
|
2,930
|
10,000 |
8
|
|
|
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
|
100,000 |
9
|
|
|
|
35,200,000
|
8,320,000
|
293,000 |
|
清洁度等级
|
通风频率
|
|
---|---|---|
国际标准化组织
|
美国联邦标准 209E 清洁度等级
|
次/小时
|
5级
|
100级
|
约300次
|
6级
|
1,000级
|
约80次
|
7级
|
10,000级
|
约40次
|
8级
|
10万级
|
约20次
|
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