无尘室内粉尘灰尘监测工厂制造区微尘粒子

    在许多行业的元件制造过程中，如半导体元件，光学镜片和LCD面板，不允许在空气中有太多的灰尘颗粒; 对于制造过程中的某些步骤，例如半导体，在清洁，载流子传输操作或涂覆光致抗蚀剂的过程中，由于空气中的颗粒会影响产品的质量并造成显著的损失。所以需要在无尘室中进行工作。然而无尘室里还是会有极少量的灰尘，这些灰尘的产生，除了因空气对流，还有可能来自于物品耗材（例如手套，口罩）与人体产生（例如皮肤表面的死皮细胞）。     在无尘室中，某些气流死角区域还是会慢慢堆积微尘。若空气因扰动，这些空降的微尘粒子将直接掉落在产品或人体表面上，而不会被粒子计数器检测到。这些不易漂浮在无尘室空气中的灰尘颗粒， 当它们由于静电或极性聚集在一起时，便很难将这些粘性灰尘吹到排气口。不仅空气滤清器对于此类黏着性粉尘的收集效率低，微粒计数器（Particle Counter）也难以计数(感知)，黏着性粉尘一旦黏附在重要表面（例如光罩）可能影响良率（线径越细，影响程度越高）。     若作业员在一般（白光）照明下，难以区别微尘粒子与背景时，自然无法有效清除灰尘，进而影响良率造成损失。为此，在无尘室中，若能使用特定波长或低角度准直光源的检测工具，将可有效检视出在产品上的黏着性粉尘，进而降低不良率。