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经验案例

无尘室内粉尘灰尘监测工厂制造区微尘粒子

    在许多行业的元件制造过程中,如半导体元件,光学镜片和LCD面板,不允许在空气中有太多的灰尘颗粒; 对于制造过程中的某些步骤,例如半导体,在清洁,载流子传输操作或涂覆光致抗蚀剂的过程中,由于空气中的颗粒会影响产品的质量并造成显著的损失。所以需要在无尘室中进行工作。然而无尘室里还是会有极少量的灰尘,这些灰尘的产生,除了因空气对流,还有可能来自于物品耗材(例如手套,口罩)与人体产生(例如皮肤表面的死皮细胞)。
    在无尘室中,某些气流死角区域还是会慢慢堆积微尘。若空气因扰动,这些空降的微尘粒子将直接掉落在产品或人体表面上,而不会被粒子计数器检测到。这些不易漂浮在无尘室空气中的灰尘颗粒, 当它们由于静电或极性聚集在一起时,便很难将这些粘性灰尘吹到排气口。不仅空气滤清器对于此类黏着性粉尘的收集效率低,微粒计数器(Particle Counter)也难以计数(感知),黏着性粉尘一旦黏附在重要表面(例如光罩)可能影响良率(线径越细,影响程度越高)。
    若作业员在一般(白光)照明下,难以区别微尘粒子与背景时,自然无法有效清除灰尘,进而影响良率造成损失。为此,在无尘室中,若能使用特定波长或低角度准直光源的检测工具,将可有效检视出在产品上的黏着性粉尘,进而降低不良率。
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